Al2O3 par ALD : un encapsulant structurable pour les composants photoniques à matériau à transition de spin - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Poster De Conférence Année : 2024

Al2O3 par ALD : un encapsulant structurable pour les composants photoniques à matériau à transition de spin

Domaines

Physique [physics] Sciences de l'ingénieur [physics]
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https://laas.hal.science/hal-04794507

Soumis le : mercredi 20 novembre 2024-21:02:39

Dernière modification le : jeudi 28 novembre 2024-03:37:39

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Dates et versions

hal-04794507 , version 1 (20-11-2024)

Licence

Paternité - Pas d'utilisation commerciale - Pas de modification

Identifiants

  • HAL Id : hal-04794507 , version 1

Citer

Manon Drob, Ayman Hoblos, Jesukpego Anorld Capo Chichi, Pascal Dubreuil, Ludovic Salvagnac, et al.. Al2O3 par ALD : un encapsulant structurable pour les composants photoniques à matériau à transition de spin. Workshop du GDR RAFALD, Nov 2024, Nantes (France), France. poster #4, 2024. ⟨hal-04794507⟩

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